在θ軸上有X轴以及Y轴，并且有wafer位置补正的Z轴，可以实现高精度的预对准。
提高产量
高精度（notch精度±0.05°、中心精度±0.05mm）
可对应透明片、键合片
在θ軸上有X轴以及Y轴，并且有wafer位置补正的Z轴，可以实现高精度的预对准。
提高产量
高精度（notch精度±0.05°、中心精度±0.05mm）
可对应透明片、键合片
| Wafer尺寸： |
直径150mm~300mm(RA420-6CV-L) 直径100mm~200mm(RA420-48V-L) |
| Notch角度精度： | ±0.05 ～ ±0.1° ※根据校准模式的区别会有所不同 |
| 中心精度： | ±0.05 ～ ±0.1mm ※根据校准模式的区别会有所不同 |
| 定位时间： | 2.5 ～ 6.5sec ※根据校准模式的区别会有所不同 |
| 输入电源： | DC24V 4A |
| 通讯方式： | TCP/IP（可以选配，对应RS232C） |
