实验平台
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实验室规划与建设

与美国专家Tony Bank共建柔性电子先进实验平台

7类实验室+4大表征平台:
微纳加工平台、芯片封测实验室、增材制造平台、化学合成实验室、有机光电材料实验室、电化学传感技术实验室、无菌生物实验室、可靠性实验室、环境实验室、光电实验室、微纳尺度表征平台、实验室综合管理办公室。
4个核心实验平台覆盖材料合成、器件制备到系统集成全过程,包括三大技术路线:微纳加工、增材制造、芯片封装。

千级洁净室、化学实验室、电学测试室、通风橱:
● 实验室坐落于嘉兴科技城,实验室组成包括500平米千级洁净室及化学实验室。
● 实验室现已有仪器设备包括:ALD原子沉积机台,真空管式炉设备,多功能超纯水系统设备,倒置荧光显微镜,半导体参数测量仪,塘树通风柜,等离子清洗机,选择性涂覆/点胶系统等。
● 可开展包括化学合成, 微纳制备,封装,测试等科研工作。